钨灯丝扫描电子显微镜

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一代的钨灯丝扫描电子显微镜：VEGA系列是根据钨灯丝扫描电子显微镜（后文简称扫描电镜）在各个领域的广泛应用以及在研发、工业等方面的实际需要所设计完成的。第三代VEGA系列是TESCAN公司近20年以来对扫描电镜及其相关配件不断研发、生产和改进的最终成果。分辨率可达3nm。