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BAG402 中真空至超高真空真空计

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  • 公司名称武汉泰和丰顺光电有限公司
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  • 所  在  地
  • 厂商性质其他
  • 更新时间2023/10/17 11:22:15
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泰和光电位于“武汉?中国光谷”, 是国内的红外光电仪器设备及电源全面解决方案的供应商。我们在武汉、广州设有多个产品事业部。除了强大的销售和技术支持网络之外,同时在香港、武汉、广州还设有售后服务中心和产品仓库,并在各事业部配有售后服务人员。 泰和光电致力于测试检测仪器及电源设备的经营,产品涉及红外热像仪、红外测温仪、气体检漏成像仪、超声波检漏仪、高速摄像机、氢氦质谱检漏仪、真空计等光电真空仪器仪表以及直流屏、交直流一体化电源、EPS应急电源、UPS不间断电源、消防应急照明疏散指示系统、智能消防巡检控制系统、高低压成套电气设备。我们的产品广泛应用于电力、石化、冶金、建筑、消防、科研、、交通夜视及等领域。我们拥有经验丰富的员工团队,可以为客户提供的服务。凭借着这些才华横溢的员工们的奉献精神和责任心,泰和光电从单一的仪器供应商迅速发展成为各领域检测仪器设备全面解决方案的提供者。 我们深信只有艰苦奋斗才能赢得客户的尊重与信赖。因此,我们坚持以客户为中心,持续为客户创造长期价值进而成就客户。
膜厚计
BAG402 中真空至超高真空真空计 INFICON 的单一 Bayard-Alpert 热电离真空计 BAG402,测量范围从 5×10-10mbar 至 2.7×10-2mbar(3.75×10-10Torr 至 5×10-2Torr)。选择 INFICON BAG402 紧凑型主动真空计套装,在低成本、可重复的工艺过程中进行基础压力测量。的双丝极结构提供更优异的精度、长期稳定性和长使用寿命。
BAG402 中真空至超高真空真空计 产品信息

益处

  • 测量范围从 5×10-10 mbar 到 2.7×10-2 mbar(3.75×10-10 Torr 到 5×10-2 Torr)
  • 出色的可重复性,在 10-8 … 10-2 mbar 工艺压力范围内为 5%
  • 过压检测保护,防止灯丝烧毁
  • 两根长寿命氧化铱灯丝
  • 发射电流选择,降低控制的繁琐
  • 植入校准数据的传感器元件可确保规管的高精准性,并且易于更换
  • 符合RoHS

典型应用

  • 半导体工艺和传送腔室的压强测量
  • 工业镀膜
  • 从低真空到超高真空范围的普通真空测量及控制

规格

类型 BAG402
测量范围 (空气, 氧2, 一氧化碳, 氮2) 5×10-10 … 2.7×10-2
精度  
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading ±15
重复性  
10-8 … 10-2 毫巴 % of reading 5
除气 (1)  
p < 7.2 × 10-6 mbar electron bombardment, max. 3 min
压强, bar (absolute) 2
温度  
操作 (环境) °C 0 … +50
储存 °C -20 … +70
法兰口的烘烤,不带BPG402-S电子单元 °C 80
供电电压 +20 … +28
输出信号模拟 (4)  
输出信号 V 0 … +10
测量范围 log / lin V 0 … +9
电压 vs. 压强 volts per decade 1
错误信号 V > +10
负载阻抗, 最小 kΩ 10
第二模拟输出 none
设点继电器  
设定点数量 none
范围  
继电器触点  
滞后  
触点额定值  
数字功能 degas and emission
接口 (数字) (2) Diagnosis port
发射控制 manual
灯丝 two Yttriumoxid (Y2O3) coated Iridium (Ir)
灯丝状态 / 继电器 LED / relay
电气连接 D-Sub, 9-pin, male
电缆长度,值 m (ft.) 100 (330)
暴露于真空中的材料 Y2O3, Ir, Pt, Mo, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
内部容积 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1)
重量 KF / CF g 450 / 710
保护级别 IP30

1)除气期间准确性降低

2)不可同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和现场总线

BAG402 中真空至超高真空真空计     
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